# yy mm dd HH MM SS 0.3um 0.5um 1um 2um 5um 2020 03 16 00 08 39 5.329e+04 3.673e+03 7.730e+02 1.890e+02 3.000e+00 2020 03 16 00 18 39 4.597e+04 3.091e+03 7.480e+02 1.910e+02 3.000e+00 2020 03 16 00 28 39 3.671e+04 2.378e+03 6.340e+02 1.840e+02 5.000e+00 2020 03 16 00 38 39 3.576e+04 2.137e+03 5.430e+02 1.280e+02 3.000e+00 2020 03 16 00 48 39 3.844e+04 2.268e+03 5.660e+02 1.420e+02 2.000e+00 2020 03 16 00 58 39 4.293e+04 2.399e+03 6.020e+02 1.490e+02 2.000e+00 2020 03 16 01 08 39 4.499e+04 2.573e+03 6.660e+02 1.740e+02 8.000e+00 2020 03 16 01 18 39 4.848e+04 2.625e+03 6.490e+02 1.580e+02 2.000e+00 2020 03 16 01 28 40 5.848e+04 3.384e+03 7.180e+02 1.770e+02 5.000e+00 2020 03 16 01 38 40 6.734e+04 3.910e+03 7.690e+02 1.780e+02 4.000e+00 2020 03 16 01 48 40 8.349e+04 4.419e+03 7.840e+02 1.860e+02 2.000e+00 2020 03 16 01 58 40 8.592e+04 4.616e+03 8.380e+02 1.910e+02 4.000e+00 2020 03 16 02 08 40 8.792e+04 4.709e+03 8.300e+02 1.820e+02 5.000e+00 2020 03 16 02 18 40 8.663e+04 4.736e+03 8.240e+02 1.620e+02 3.000e+00 2020 03 16 02 28 40 8.555e+04 4.631e+03 8.220e+02 1.510e+02 2.000e+00 2020 03 16 02 38 40 9.188e+04 5.145e+03 8.700e+02 2.050e+02 6.000e+00 2020 03 16 02 48 40 9.207e+04 5.102e+03 9.550e+02 2.160e+02 8.000e+00 2020 03 16 02 58 40 8.568e+04 4.940e+03 9.040e+02 2.060e+02 3.000e+00 2020 03 16 03 08 41 7.179e+04 4.225e+03 8.100e+02 1.800e+02 2.000e+00 2020 03 16 03 18 41 7.465e+04 4.659e+03 8.980e+02 2.040e+02 3.000e+00 2020 03 16 03 28 41 8.235e+04 5.657e+03 1.114e+03 2.590e+02 6.000e+00 2020 03 16 03 38 41 7.876e+04 5.851e+03 1.016e+03 2.010e+02 3.000e+00 2020 03 16 03 48 41 7.684e+04 5.334e+03 9.360e+02 2.120e+02 2.000e+00 2020 03 16 03 58 41 7.375e+04 5.164e+03 9.250e+02 1.840e+02 5.000e+00 2020 03 16 04 08 41 6.950e+04 4.686e+03 8.620e+02 1.780e+02 5.000e+00 2020 03 16 04 18 41 6.816e+04 4.366e+03 8.560e+02 1.930e+02 4.000e+00 2020 03 16 04 28 41 6.703e+04 4.031e+03 8.360e+02 1.800e+02 2.000e+00 2020 03 16 04 38 42 6.747e+04 3.705e+03 8.250e+02 1.580e+02 0.000e+00 2020 03 16 04 48 42 6.873e+04 3.612e+03 7.760e+02 1.590e+02 0.000e+00 2020 03 16 04 58 42 7.005e+04 3.719e+03 8.170e+02 1.740e+02 2.000e+00 2020 03 16 05 08 42 7.126e+04 3.747e+03 7.830e+02 1.820e+02 9.000e+00 2020 03 16 05 18 42 7.260e+04 3.751e+03 7.800e+02 1.680e+02 4.000e+00 2020 03 16 05 28 42 7.545e+04 3.869e+03 8.230e+02 1.860e+02 5.000e+00 2020 03 16 05 38 42 7.720e+04 4.076e+03 8.310e+02 1.620e+02 3.000e+00 2020 03 16 05 48 42 7.719e+04 4.155e+03 9.020e+02 2.020e+02 3.000e+00 2020 03 16 05 58 42 7.920e+04 4.082e+03 8.310e+02 1.630e+02 1.000e+00 2020 03 16 06 08 43 8.191e+04 4.400e+03 8.920e+02 1.950e+02 2.000e+00 2020 03 16 06 18 43 8.985e+04 4.686e+03 9.460e+02 1.860e+02 1.000e+00 2020 03 16 06 28 43 9.729e+04 5.077e+03 9.920e+02 2.020e+02 5.000e+00 2020 03 16 06 38 43 1.111e+05 5.020e+03 9.390e+02 1.940e+02 3.000e+00 2020 03 16 06 48 43 1.024e+05 4.924e+03 9.250e+02 1.670e+02 5.000e+00 2020 03 16 06 58 43 9.214e+04 4.600e+03 9.150e+02 1.800e+02 3.000e+00 2020 03 16 07 08 43 8.898e+04 4.462e+03 8.440e+02 1.890e+02 1.000e+00 2020 03 16 07 18 43 8.847e+04 4.385e+03 8.820e+02 1.810e+02 3.000e+00 2020 03 16 07 28 43 9.228e+04 4.387e+03 9.000e+02 1.920e+02 8.000e+00 2020 03 16 07 38 43 9.149e+04 4.412e+03 8.570e+02 1.820e+02 1.000e+00 2020 03 16 07 48 43 9.378e+04 4.427e+03 8.140e+02 1.650e+02 5.000e+00 2020 03 16 07 58 43 9.024e+04 4.181e+03 7.840e+02 1.750e+02 1.000e+00 2020 03 16 08 08 43 8.514e+04 3.841e+03 7.650e+02 1.660e+02 3.000e+00 2020 03 16 08 18 44 8.103e+04 3.649e+03 6.910e+02 1.420e+02 4.000e+00 2020 03 16 08 28 44 7.349e+04 3.290e+03 6.940e+02 1.480e+02 3.000e+00 2020 03 16 08 38 44 7.083e+04 3.212e+03 6.230e+02 1.300e+02 3.000e+00 2020 03 16 08 48 44 6.694e+04 3.051e+03 6.550e+02 1.120e+02 5.000e+00 2020 03 16 08 58 44 6.591e+04 3.029e+03 6.830e+02 1.520e+02 4.000e+00 2020 03 16 09 08 44 7.327e+04 3.753e+03 7.670e+02 1.470e+02 1.000e+00 2020 03 16 09 18 44 5.600e+04 2.781e+03 6.710e+02 1.680e+02 4.000e+00 2020 03 16 09 48 44 6.114e+04 3.059e+03 7.730e+02 1.810e+02 3.000e+00 2020 03 16 09 58 45 5.879e+04 2.730e+03 6.750e+02 1.550e+02 0.000e+00 2020 03 16 10 18 48 4.719e+04 2.343e+03 6.070e+02 1.370e+02 3.000e+00 2020 03 16 10 28 49 4.528e+04 2.180e+03 5.430e+02 1.020e+02 5.000e+00 2020 03 16 10 38 49 4.124e+04 1.970e+03 4.230e+02 1.020e+02 0.000e+00 2020 03 16 10 48 49 5.319e+04 2.723e+03 6.430e+02 1.630e+02 6.000e+00 2020 03 16 10 58 49 4.129e+04 1.866e+03 3.980e+02 8.500e+01 2.000e+00 2020 03 16 11 08 49 3.314e+04 1.433e+03 2.870e+02 6.000e+01 2.000e+00 2020 03 16 11 18 49 3.236e+04 1.555e+03 2.940e+02 6.200e+01 3.000e+00 2020 03 16 11 28 49 3.266e+04 1.519e+03 2.800e+02 5.300e+01 3.000e+00 2020 03 16 11 38 49 3.989e+04 1.517e+03 2.920e+02 7.000e+01 3.000e+00 2020 03 16 11 48 49 3.044e+04 1.344e+03 2.640e+02 7.600e+01 4.000e+00 2020 03 16 11 58 49 3.047e+04 1.403e+03 2.780e+02 7.400e+01 2.000e+00 2020 03 16 12 08 50 2.894e+04 1.317e+03 2.420e+02 6.500e+01 3.000e+00 2020 03 16 12 18 50 2.389e+04 1.158e+03 2.530e+02 7.100e+01 4.000e+00 2020 03 16 12 28 50 1.991e+04 1.081e+03 2.080e+02 5.400e+01 5.000e+00 2020 03 16 12 38 50 1.632e+04 1.143e+03 3.360e+02 1.210e+02 1.000e+01 2020 03 16 12 48 50 1.212e+04 8.330e+02 1.750e+02 4.500e+01 2.000e+00 2020 03 16 12 58 50 1.009e+04 8.070e+02 2.170e+02 7.200e+01 3.000e+00 2020 03 16 13 08 50 7.970e+03 6.890e+02 1.850e+02 6.700e+01 6.000e+00 2020 03 16 13 18 50 6.974e+03 7.090e+02 2.630e+02 1.160e+02 1.800e+01 2020 03 16 13 28 50 6.533e+03 6.840e+02 2.280e+02 9.900e+01 7.000e+00 2020 03 16 13 38 50 6.171e+03 5.970e+02 2.140e+02 8.700e+01 9.000e+00 2020 03 16 13 48 51 5.103e+03 5.680e+02 2.300e+02 1.260e+02 1.500e+01 2020 03 16 13 58 51 4.288e+03 6.990e+02 3.720e+02 2.040e+02 2.200e+01 2020 03 16 14 08 51 3.513e+03 7.490e+02 4.310e+02 2.420e+02 1.900e+01 2020 03 16 14 18 51 4.270e+03 1.452e+03 9.840e+02 5.630e+02 5.500e+01 2020 03 16 14 28 51 6.392e+03 1.156e+03 6.160e+02 3.190e+02 2.100e+01 2020 03 16 14 38 51 6.499e+03 6.900e+02 2.970e+02 1.370e+02 1.200e+01 2020 03 16 14 48 51 3.347e+03 5.800e+02 3.190e+02 1.780e+02 1.400e+01 2020 03 16 14 58 51 4.047e+03 4.080e+02 1.460e+02 6.400e+01 6.000e+00 2020 03 16 15 08 51 3.425e+03 3.910e+02 1.240e+02 5.000e+01 3.000e+00 2020 03 16 15 18 51 3.732e+03 4.920e+02 2.120e+02 8.800e+01 1.000e+01 2020 03 16 15 28 51 4.310e+03 6.040e+02 2.890e+02 1.330e+02 8.000e+00 2020 03 16 15 38 52 6.124e+03 8.780e+02 3.960e+02 2.020e+02 2.400e+01 2020 03 16 15 48 52 8.247e+03 1.049e+03 4.710e+02 2.450e+02 3.100e+01 2020 03 16 15 58 52 1.012e+04 1.326e+03 5.190e+02 2.550e+02 2.200e+01 2020 03 16 16 08 52 1.062e+04 1.385e+03 6.020e+02 2.970e+02 3.600e+01 2020 03 16 16 18 52 1.091e+04 1.429e+03 5.970e+02 3.140e+02 4.000e+01 2020 03 16 16 28 52 1.284e+04 1.517e+03 5.510e+02 2.530e+02 2.400e+01 2020 03 16 16 38 52 1.393e+04 1.507e+03 5.040e+02 2.260e+02 1.600e+01 2020 03 16 16 48 52 1.538e+04 1.617e+03 4.940e+02 1.900e+02 1.500e+01 2020 03 16 16 58 52 1.485e+04 1.544e+03 4.990e+02 1.940e+02 2.000e+01 2020 03 16 17 08 52 1.589e+04 1.599e+03 4.850e+02 1.780e+02 1.700e+01 2020 03 16 17 18 53 1.708e+04 1.721e+03 5.350e+02 2.060e+02 1.800e+01 2020 03 16 17 28 53 1.775e+04 1.819e+03 5.290e+02 1.830e+02 1.200e+01 2020 03 16 17 38 53 1.759e+04 1.778e+03 5.160e+02 1.840e+02 1.800e+01 2020 03 16 17 48 53 1.843e+04 1.829e+03 5.300e+02 1.770e+02 1.300e+01 2020 03 16 17 58 53 1.670e+04 1.572e+03 3.860e+02 1.150e+02 7.000e+00 2020 03 16 18 08 51 1.716e+04 1.644e+03 3.910e+02 1.120e+02 7.000e+00 2020 03 16 18 18 51 1.750e+04 1.690e+03 3.880e+02 1.150e+02 1.000e+01 2020 03 16 18 28 51 1.689e+04 1.527e+03 3.270e+02 8.700e+01 6.000e+00 2020 03 16 18 38 51 1.777e+04 1.615e+03 3.060e+02 6.000e+01 2.000e+00 2020 03 16 18 48 51 1.843e+04 1.679e+03 3.340e+02 6.200e+01 3.000e+00 2020 03 16 18 58 51 1.871e+04 1.711e+03 3.470e+02 7.000e+01 4.000e+00 2020 03 16 19 08 51 1.935e+04 1.753e+03 3.450e+02 7.500e+01 2.000e+00 2020 03 16 19 18 51 1.763e+04 1.672e+03 3.400e+02 6.700e+01 2.000e+00 2020 03 16 19 28 52 1.646e+04 1.644e+03 3.230e+02 7.200e+01 3.000e+00 2020 03 16 19 38 52 1.433e+04 1.507e+03 2.890e+02 5.300e+01 1.000e+00 2020 03 16 19 48 52 1.342e+04 1.376e+03 2.380e+02 4.800e+01 2.000e+00 2020 03 16 19 58 52 1.261e+04 1.293e+03 2.620e+02 3.600e+01 2.000e+00 2020 03 16 20 08 52 1.201e+04 1.366e+03 2.800e+02 5.900e+01 2.000e+00 2020 03 16 20 18 52 1.166e+04 1.385e+03 2.910e+02 6.100e+01 3.000e+00 2020 03 16 20 28 52 1.165e+04 1.432e+03 3.120e+02 6.000e+01 1.000e+00 2020 03 16 20 38 52 1.150e+04 1.406e+03 3.680e+02 7.500e+01 4.000e+00 2020 03 16 20 48 52 1.205e+04 1.488e+03 3.530e+02 5.500e+01 2.000e+00 2020 03 16 20 58 52 1.230e+04 1.531e+03 3.600e+02 6.000e+01 3.000e+00 2020 03 16 21 08 53 1.293e+04 1.425e+03 3.280e+02 5.900e+01 0.000e+00 2020 03 16 21 18 53 1.347e+04 1.501e+03 3.430e+02 5.600e+01 0.000e+00 2020 03 16 21 28 53 1.296e+04 1.372e+03 2.950e+02 5.900e+01 2.000e+00 2020 03 16 21 38 53 1.326e+04 1.439e+03 3.120e+02 5.700e+01 1.000e+00 2020 03 16 21 48 53 1.330e+04 1.452e+03 3.360e+02 6.300e+01 2.000e+00 2020 03 16 21 58 53 1.342e+04 1.470e+03 3.420e+02 6.400e+01 0.000e+00 2020 03 16 22 08 53 1.365e+04 1.485e+03 3.640e+02 6.800e+01 2.000e+00 2020 03 16 22 18 53 1.381e+04 1.487e+03 3.370e+02 4.200e+01 1.000e+00 2020 03 16 22 28 53 1.397e+04 1.596e+03 3.500e+02 5.700e+01 0.000e+00 2020 03 16 22 38 53 1.423e+04 1.471e+03 3.210e+02 4.800e+01 1.000e+00 2020 03 16 22 48 54 1.437e+04 1.557e+03 3.540e+02 6.200e+01 4.000e+00 2020 03 16 22 58 54 1.426e+04 1.505e+03 3.320e+02 5.200e+01 1.000e+00 2020 03 16 23 08 54 1.402e+04 1.417e+03 3.260e+02 5.100e+01 1.000e+00 2020 03 16 23 18 54 1.381e+04 1.429e+03 3.310e+02 4.800e+01 0.000e+00 2020 03 16 23 28 54 1.366e+04 1.347e+03 2.950e+02 5.400e+01 2.000e+00 2020 03 16 23 38 54 1.352e+04 1.328e+03 2.840e+02 5.000e+01 2.000e+00 2020 03 16 23 48 54 1.351e+04 1.329e+03 2.860e+02 4.200e+01 1.000e+00 2020 03 16 23 58 54 1.331e+04 1.336e+03 2.770e+02 4.700e+01 0.000e+00