# yy mm dd HH MM SS 0.3um 0.5um 1um 2um 5um 2020 02 28 00 04 17 3.039e+04 1.823e+03 2.510e+02 4.400e+01 0.000e+00 2020 02 28 00 14 18 2.818e+04 1.633e+03 2.340e+02 4.100e+01 0.000e+00 2020 02 28 00 24 18 2.873e+04 1.611e+03 2.270e+02 4.300e+01 1.000e+00 2020 02 28 00 34 18 2.548e+04 1.508e+03 1.950e+02 3.600e+01 1.000e+00 2020 02 28 00 44 18 2.495e+04 1.386e+03 1.940e+02 2.700e+01 2.000e+00 2020 02 28 00 54 18 2.202e+04 1.209e+03 1.790e+02 3.900e+01 1.000e+00 2020 02 28 01 04 18 2.198e+04 1.255e+03 1.610e+02 2.800e+01 2.000e+00 2020 02 28 01 14 18 1.976e+04 1.145e+03 1.770e+02 2.800e+01 0.000e+00 2020 02 28 01 24 18 1.748e+04 9.890e+02 1.370e+02 2.500e+01 1.000e+00 2020 02 28 01 34 18 1.692e+04 1.032e+03 1.460e+02 3.400e+01 0.000e+00 2020 02 28 01 44 18 1.709e+04 1.038e+03 1.630e+02 2.600e+01 0.000e+00 2020 02 28 01 54 19 1.790e+04 1.030e+03 1.390e+02 2.900e+01 0.000e+00 2020 02 28 02 04 19 2.022e+04 1.145e+03 1.590e+02 3.500e+01 1.000e+00 2020 02 28 02 14 19 2.332e+04 1.320e+03 1.790e+02 3.300e+01 0.000e+00 2020 02 28 02 24 19 3.530e+04 2.090e+03 2.650e+02 4.700e+01 2.000e+00 2020 02 28 02 34 19 2.924e+04 1.695e+03 2.620e+02 5.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 02 44 19 3.320e+04 1.899e+03 3.360e+02 9.700e+01 5.000e+00 2020 02 28 02 54 19 3.707e+04 2.159e+03 3.730e+02 9.300e+01 3.000e+00 2020 02 28 03 04 19 3.223e+04 1.793e+03 2.580e+02 4.300e+01 2.000e+00 2020 02 28 03 14 19 3.786e+04 2.178e+03 3.310e+02 8.200e+01 3.000e+00 2020 02 28 03 24 19 3.901e+04 2.251e+03 3.930e+02 9.700e+01 7.000e+00 2020 02 28 03 34 19 3.394e+04 1.997e+03 3.240e+02 8.300e+01 4.000e+00 2020 02 28 03 44 20 3.027e+04 1.772e+03 3.280e+02 6.700e+01 3.000e+00 2020 02 28 03 54 20 2.684e+04 1.593e+03 2.660e+02 5.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 04 04 20 2.252e+04 1.308e+03 2.170e+02 3.900e+01 2.000e+00 2020 02 28 04 14 20 2.416e+04 1.445e+03 2.190e+02 4.300e+01 2.000e+00 2020 02 28 04 24 20 3.047e+04 1.771e+03 3.020e+02 6.100e+01 3.000e+00 2020 02 28 04 34 20 2.582e+04 1.396e+03 2.320e+02 3.900e+01 1.000e+00 2020 02 28 04 44 20 2.351e+04 1.377e+03 2.100e+02 3.800e+01 0.000e+00 2020 02 28 04 54 20 2.470e+04 1.425e+03 2.330e+02 5.300e+01 2.000e+00 2020 02 28 05 04 20 2.227e+04 1.345e+03 2.340e+02 3.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 05 14 20 2.355e+04 1.370e+03 2.100e+02 3.300e+01 0.000e+00 2020 02 28 05 24 21 2.102e+04 1.215e+03 1.920e+02 3.600e+01 1.000e+00 2020 02 28 05 34 21 2.635e+04 1.419e+03 2.490e+02 5.100e+01 0.000e+00 2020 02 28 05 44 21 2.231e+04 1.286e+03 2.050e+02 3.600e+01 0.000e+00 2020 02 28 05 54 21 2.546e+04 1.548e+03 2.570e+02 5.100e+01 2.000e+00 2020 02 28 06 04 23 2.480e+04 1.372e+03 2.410e+02 4.600e+01 1.000e+00 2020 02 28 06 14 23 2.392e+04 1.411e+03 2.340e+02 3.700e+01 0.000e+00 2020 02 28 06 24 23 2.361e+04 1.335e+03 2.350e+02 4.300e+01 1.000e+00 2020 02 28 06 34 23 2.596e+04 1.524e+03 2.760e+02 6.400e+01 0.000e+00 2020 02 28 06 44 23 2.808e+04 1.798e+03 3.140e+02 6.400e+01 0.000e+00 2020 02 28 06 54 23 2.791e+04 1.746e+03 3.170e+02 6.800e+01 2.000e+00 2020 02 28 07 04 23 3.128e+04 2.062e+03 4.050e+02 1.010e+02 1.000e+00 2020 02 28 07 14 23 3.093e+04 2.067e+03 4.000e+02 9.700e+01 3.000e+00 2020 02 28 07 24 23 4.140e+04 3.267e+03 7.760e+02 2.050e+02 6.000e+00 2020 02 28 07 34 24 5.572e+04 5.709e+03 1.759e+03 3.010e+02 2.000e+01 2020 02 28 07 44 24 4.627e+04 4.657e+03 1.361e+03 1.820e+02 7.000e+00 2020 02 28 07 54 24 3.399e+04 2.912e+03 7.660e+02 1.220e+02 3.000e+00 2020 02 28 08 04 24 3.420e+04 2.360e+03 4.730e+02 1.130e+02 6.000e+00 2020 02 28 08 14 24 5.354e+04 3.136e+03 4.830e+02 1.060e+02 3.000e+00 2020 02 28 08 24 24 1.235e+05 6.676e+03 4.900e+02 8.700e+01 2.000e+00 2020 02 28 08 34 24 9.382e+04 4.594e+03 4.050e+02 3.800e+01 0.000e+00 2020 02 28 08 44 24 6.917e+04 3.305e+03 3.690e+02 5.700e+01 0.000e+00 2020 02 28 08 54 24 2.949e+04 1.623e+03 2.390e+02 4.200e+01 3.000e+00 2020 02 28 09 04 24 2.775e+04 1.631e+03 2.610e+02 5.000e+01 1.000e+00 2020 02 28 09 14 25 1.689e+04 1.023e+03 1.580e+02 3.900e+01 0.000e+00 2020 02 28 09 24 25 1.557e+04 9.340e+02 1.650e+02 3.600e+01 5.000e+00 2020 02 28 09 34 25 1.557e+04 9.570e+02 1.500e+02 2.000e+01 2.000e+00 2020 02 28 09 44 25 1.541e+04 9.930e+02 1.610e+02 2.700e+01 1.000e+00 2020 02 28 09 54 25 1.676e+04 1.036e+03 1.600e+02 3.700e+01 2.000e+00 2020 02 28 10 04 25 1.705e+04 1.038e+03 1.660e+02 3.300e+01 2.000e+00 2020 02 28 10 14 25 1.825e+04 1.106e+03 1.620e+02 3.000e+01 2.000e+00 2020 02 28 10 24 25 2.535e+04 1.514e+03 2.360e+02 4.300e+01 0.000e+00 2020 02 28 10 34 25 2.927e+04 1.711e+03 1.930e+02 3.200e+01 0.000e+00 2020 02 28 10 44 25 3.976e+04 2.460e+03 3.300e+02 4.700e+01 2.000e+00 2020 02 28 10 54 26 3.779e+04 2.338e+03 2.920e+02 6.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 11 04 26 2.606e+04 1.601e+03 2.260e+02 3.100e+01 1.000e+00 2020 02 28 11 14 26 3.799e+04 2.400e+03 3.210e+02 6.300e+01 1.000e+00 2020 02 28 11 24 26 3.513e+04 1.980e+03 2.670e+02 4.100e+01 1.000e+00 2020 02 28 11 34 26 2.418e+04 1.329e+03 1.950e+02 4.400e+01 1.000e+00 2020 02 28 11 44 26 1.970e+04 1.078e+03 1.620e+02 3.600e+01 1.000e+00 2020 02 28 11 54 26 2.142e+04 1.145e+03 1.960e+02 3.900e+01 4.000e+00 2020 02 28 12 04 26 2.352e+04 1.398e+03 1.960e+02 4.300e+01 0.000e+00 2020 02 28 12 14 26 2.535e+04 1.452e+03 2.170e+02 3.600e+01 0.000e+00 2020 02 28 12 24 26 2.569e+04 1.316e+03 1.810e+02 3.800e+01 0.000e+00 2020 02 28 12 34 27 2.932e+04 1.433e+03 1.710e+02 4.000e+01 1.000e+00 2020 02 28 12 44 27 2.834e+04 1.420e+03 2.020e+02 4.800e+01 2.000e+00 2020 02 28 12 54 27 2.808e+04 1.360e+03 1.920e+02 2.900e+01 3.000e+00 2020 02 28 13 04 27 2.882e+04 1.407e+03 2.200e+02 4.800e+01 2.000e+00 2020 02 28 13 14 27 2.971e+04 1.416e+03 2.060e+02 4.500e+01 3.000e+00 2020 02 28 13 24 27 2.764e+04 1.311e+03 1.890e+02 2.900e+01 3.000e+00 2020 02 28 13 34 27 3.222e+04 1.754e+03 3.040e+02 7.100e+01 7.000e+00 2020 02 28 13 44 27 3.094e+04 1.574e+03 2.420e+02 4.300e+01 3.000e+00 2020 02 28 13 54 27 3.064e+04 1.452e+03 1.930e+02 5.400e+01 4.000e+00 2020 02 28 14 04 27 3.204e+04 1.501e+03 2.210e+02 4.200e+01 5.000e+00 2020 02 28 14 14 28 3.411e+04 1.646e+03 2.490e+02 6.400e+01 1.000e+00 2020 02 28 14 24 28 3.574e+04 1.700e+03 2.640e+02 5.100e+01 3.000e+00 2020 02 28 14 34 28 3.641e+04 1.671e+03 2.370e+02 5.400e+01 2.000e+00 2020 02 28 14 44 28 3.502e+04 1.753e+03 2.690e+02 5.800e+01 6.000e+00 2020 02 28 14 54 28 3.360e+04 1.653e+03 2.480e+02 5.800e+01 1.000e+00 2020 02 28 15 04 28 3.580e+04 1.749e+03 2.730e+02 7.100e+01 4.000e+00 2020 02 28 15 14 28 3.596e+04 1.703e+03 2.440e+02 5.400e+01 2.000e+00 2020 02 28 15 24 28 3.430e+04 1.667e+03 2.540e+02 5.800e+01 4.000e+00 2020 02 28 15 34 28 3.502e+04 1.882e+03 2.860e+02 5.100e+01 3.000e+00 2020 02 28 15 44 28 3.413e+04 1.760e+03 2.450e+02 5.400e+01 5.000e+00 2020 02 28 15 54 28 3.395e+04 1.874e+03 3.030e+02 7.900e+01 4.000e+00 2020 02 28 16 04 29 3.342e+04 1.856e+03 3.020e+02 7.300e+01 6.000e+00 2020 02 28 16 14 29 3.008e+04 2.063e+03 4.090e+02 9.700e+01 1.000e+01 2020 02 28 16 24 29 2.859e+04 1.874e+03 3.260e+02 6.400e+01 4.000e+00 2020 02 28 16 34 29 2.969e+04 2.026e+03 3.680e+02 8.200e+01 6.000e+00 2020 02 28 16 44 29 2.984e+04 2.009e+03 3.520e+02 8.400e+01 3.000e+00 2020 02 28 16 54 29 2.924e+04 1.943e+03 3.210e+02 5.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 17 04 29 2.869e+04 1.939e+03 3.360e+02 6.600e+01 1.000e+00 2020 02 28 17 14 29 2.942e+04 2.028e+03 3.430e+02 6.900e+01 3.000e+00 2020 02 28 17 24 29 3.013e+04 2.063e+03 3.410e+02 7.000e+01 1.000e+00 2020 02 28 17 34 29 2.974e+04 2.173e+03 4.030e+02 7.700e+01 0.000e+00 2020 02 28 17 44 30 2.948e+04 2.107e+03 3.820e+02 7.900e+01 1.000e+00 2020 02 28 17 54 30 2.892e+04 2.068e+03 3.390e+02 6.900e+01 3.000e+00 2020 02 28 18 04 30 2.995e+04 2.223e+03 3.970e+02 9.000e+01 3.000e+00 2020 02 28 18 14 30 3.016e+04 2.242e+03 4.150e+02 7.600e+01 3.000e+00 2020 02 28 18 24 30 3.014e+04 2.282e+03 4.190e+02 7.400e+01 3.000e+00 2020 02 28 18 34 30 3.268e+04 2.341e+03 3.890e+02 7.700e+01 4.000e+00 2020 02 28 18 44 30 3.464e+04 2.499e+03 4.510e+02 8.100e+01 2.000e+00 2020 02 28 18 54 30 3.430e+04 2.547e+03 4.080e+02 8.100e+01 1.000e+00 2020 02 28 19 04 30 3.598e+04 2.556e+03 4.390e+02 9.100e+01 2.000e+00 2020 02 28 19 14 30 3.547e+04 2.520e+03 4.660e+02 9.100e+01 2.000e+00 2020 02 28 19 24 31 3.793e+04 2.709e+03 4.570e+02 8.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 19 34 31 3.348e+04 2.491e+03 4.670e+02 8.200e+01 7.000e+00 2020 02 28 19 44 31 3.753e+04 2.780e+03 5.060e+02 1.040e+02 5.000e+00 2020 02 28 19 54 31 3.748e+04 2.776e+03 4.670e+02 9.100e+01 4.000e+00 2020 02 28 20 04 31 3.796e+04 2.904e+03 5.110e+02 9.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 20 14 31 3.846e+04 2.983e+03 5.170e+02 1.080e+02 3.000e+00 2020 02 28 20 24 31 3.663e+04 2.807e+03 5.090e+02 1.080e+02 2.000e+00 2020 02 28 20 34 31 3.582e+04 2.774e+03 5.170e+02 9.500e+01 2.000e+00 2020 02 28 20 44 31 3.469e+04 2.650e+03 5.220e+02 1.010e+02 4.000e+00 2020 02 28 20 54 31 3.528e+04 2.799e+03 5.490e+02 9.200e+01 1.000e+00 2020 02 28 21 04 32 3.486e+04 2.815e+03 5.620e+02 1.200e+02 1.000e+00 2020 02 28 21 14 32 3.503e+04 2.869e+03 5.690e+02 1.010e+02 2.000e+00 2020 02 28 21 24 32 3.485e+04 2.662e+03 5.320e+02 1.000e+02 4.000e+00 2020 02 28 21 34 32 3.313e+04 2.582e+03 4.980e+02 1.070e+02 2.000e+00 2020 02 28 21 44 32 3.295e+04 2.631e+03 5.590e+02 1.090e+02 3.000e+00 2020 02 28 21 54 32 3.390e+04 2.725e+03 5.450e+02 1.200e+02 1.000e+00 2020 02 28 22 04 32 3.478e+04 2.979e+03 6.370e+02 1.220e+02 2.000e+00 2020 02 28 22 14 32 3.333e+04 2.995e+03 6.300e+02 1.280e+02 2.000e+00 2020 02 28 22 24 32 3.330e+04 2.842e+03 5.580e+02 1.100e+02 1.000e+00 2020 02 28 22 34 32 3.184e+04 2.720e+03 5.300e+02 1.100e+02 1.000e+00 2020 02 28 22 44 32 3.084e+04 2.626e+03 5.620e+02 1.060e+02 4.000e+00 2020 02 28 22 54 33 3.059e+04 2.603e+03 5.570e+02 1.210e+02 5.000e+00 2020 02 28 23 04 33 3.058e+04 2.660e+03 5.420e+02 1.150e+02 4.000e+00 2020 02 28 23 14 33 2.818e+04 2.501e+03 5.320e+02 1.130e+02 4.000e+00 2020 02 28 23 24 33 2.612e+04 2.270e+03 4.750e+02 9.200e+01 2.000e+00 2020 02 28 23 34 33 2.626e+04 2.311e+03 5.270e+02 1.180e+02 3.000e+00 2020 02 28 23 44 33 2.672e+04 2.293e+03 5.210e+02 1.210e+02 2.000e+00 2020 02 28 23 54 33 2.644e+04 2.333e+03 5.230e+02 1.080e+02 0.000e+00