# yy mm dd HH MM SS 0.3um 0.5um 1um 2um 5um 2018 03 02 00 07 27 4.945e+04 6.531e+03 8.680e+02 1.910e+02 6.000e+00 2018 03 02 00 17 27 4.696e+04 6.226e+03 8.400e+02 2.110e+02 7.000e+00 2018 03 02 00 27 28 4.473e+04 5.871e+03 8.080e+02 1.640e+02 5.000e+00 2018 03 02 00 37 28 4.290e+04 5.591e+03 7.520e+02 1.830e+02 3.000e+00 2018 03 02 00 47 28 4.057e+04 5.511e+03 8.710e+02 1.730e+02 3.000e+00 2018 03 02 00 57 28 3.855e+04 5.139e+03 7.800e+02 1.510e+02 7.000e+00 2018 03 02 01 07 28 3.623e+04 4.727e+03 6.740e+02 1.580e+02 4.000e+00 2018 03 02 01 17 28 3.410e+04 4.275e+03 6.470e+02 1.480e+02 5.000e+00 2018 03 02 01 27 28 3.296e+04 4.039e+03 6.430e+02 1.260e+02 1.000e+00 2018 03 02 01 37 28 3.363e+04 4.170e+03 6.730e+02 1.500e+02 3.000e+00 2018 03 02 01 47 28 3.526e+04 4.391e+03 7.190e+02 1.650e+02 1.000e+00 2018 03 02 01 57 28 3.691e+04 4.261e+03 6.650e+02 1.590e+02 4.000e+00 2018 03 02 02 07 29 4.066e+04 4.637e+03 6.800e+02 1.410e+02 4.000e+00 2018 03 02 02 17 29 4.478e+04 4.927e+03 7.510e+02 1.570e+02 6.000e+00 2018 03 02 02 27 29 4.788e+04 5.260e+03 8.090e+02 1.610e+02 3.000e+00 2018 03 02 02 37 29 5.024e+04 5.475e+03 7.240e+02 1.540e+02 3.000e+00 2018 03 02 02 47 29 5.225e+04 5.536e+03 7.620e+02 1.620e+02 3.000e+00 2018 03 02 02 57 29 5.395e+04 5.667e+03 7.930e+02 1.420e+02 3.000e+00 2018 03 02 03 07 29 5.422e+04 5.614e+03 7.320e+02 1.680e+02 1.000e+00 2018 03 02 03 17 29 5.543e+04 5.647e+03 7.540e+02 1.530e+02 1.000e+00 2018 03 02 03 27 29 5.699e+04 5.943e+03 8.070e+02 1.670e+02 2.000e+00 2018 03 02 03 37 29 5.815e+04 6.042e+03 7.740e+02 1.510e+02 2.000e+00 2018 03 02 03 47 30 5.866e+04 6.102e+03 7.990e+02 1.810e+02 0.000e+00 2018 03 02 03 57 30 5.918e+04 6.052e+03 8.050e+02 1.800e+02 5.000e+00 2018 03 02 04 07 30 6.084e+04 6.171e+03 7.830e+02 1.790e+02 0.000e+00 2018 03 02 04 17 30 6.092e+04 6.212e+03 8.140e+02 1.800e+02 2.000e+00 2018 03 02 04 27 30 6.154e+04 6.268e+03 7.690e+02 1.520e+02 3.000e+00 2018 03 02 04 37 30 6.244e+04 6.178e+03 7.630e+02 1.430e+02 1.000e+00 2018 03 02 04 47 30 6.203e+04 6.398e+03 7.570e+02 1.580e+02 5.000e+00 2018 03 02 04 57 30 6.157e+04 6.291e+03 7.530e+02 1.570e+02 0.000e+00 2018 03 02 05 07 30 6.090e+04 6.172e+03 7.520e+02 1.620e+02 5.000e+00 2018 03 02 05 17 30 6.052e+04 6.083e+03 7.580e+02 1.410e+02 4.000e+00 2018 03 02 05 27 31 5.946e+04 6.107e+03 7.940e+02 1.460e+02 2.000e+00 2018 03 02 05 37 31 5.972e+04 6.116e+03 7.960e+02 1.620e+02 2.000e+00 2018 03 02 05 47 31 5.912e+04 5.851e+03 6.980e+02 1.280e+02 1.000e+00 2018 03 02 05 57 31 5.822e+04 5.782e+03 7.340e+02 1.410e+02 3.000e+00 2018 03 02 06 07 31 5.812e+04 5.897e+03 6.910e+02 1.330e+02 2.000e+00 2018 03 02 06 17 31 5.808e+04 5.958e+03 7.330e+02 1.710e+02 6.000e+00 2018 03 02 06 27 31 5.738e+04 5.750e+03 7.510e+02 1.510e+02 7.000e+00 2018 03 02 06 37 31 5.788e+04 5.888e+03 7.510e+02 1.390e+02 6.000e+00 2018 03 02 06 47 31 5.644e+04 5.849e+03 7.580e+02 1.460e+02 3.000e+00 2018 03 02 06 57 31 5.640e+04 5.847e+03 8.040e+02 1.680e+02 6.000e+00 2018 03 02 07 07 32 5.573e+04 5.757e+03 7.850e+02 1.860e+02 4.000e+00 2018 03 02 07 17 32 5.518e+04 5.697e+03 7.810e+02 1.820e+02 5.000e+00 2018 03 02 07 27 32 5.429e+04 5.760e+03 7.430e+02 1.570e+02 3.000e+00 2018 03 02 07 37 32 5.317e+04 5.680e+03 7.840e+02 1.700e+02 7.000e+00 2018 03 02 07 47 32 5.000e+04 5.450e+03 7.680e+02 1.680e+02 1.000e+01 2018 03 02 07 57 32 4.778e+04 5.242e+03 7.540e+02 1.900e+02 6.000e+00 2018 03 02 08 07 32 4.663e+04 5.160e+03 7.320e+02 1.640e+02 2.000e+00 2018 03 02 08 17 32 4.501e+04 4.957e+03 7.550e+02 1.780e+02 9.000e+00 2018 03 02 08 27 32 4.244e+04 4.787e+03 6.930e+02 1.690e+02 7.000e+00 2018 03 02 08 37 32 4.329e+04 4.898e+03 7.430e+02 1.770e+02 7.000e+00 2018 03 02 08 47 33 4.295e+04 4.901e+03 7.310e+02 1.660e+02 4.000e+00 2018 03 02 08 57 33 4.212e+04 4.755e+03 6.630e+02 1.410e+02 8.000e+00 2018 03 02 09 07 33 4.069e+04 4.662e+03 7.020e+02 1.680e+02 7.000e+00 2018 03 02 09 17 33 3.848e+04 4.380e+03 6.790e+02 1.690e+02 1.100e+01 2018 03 02 09 27 33 3.733e+04 4.214e+03 6.570e+02 1.520e+02 1.200e+01 2018 03 02 09 37 33 3.533e+04 3.999e+03 5.540e+02 1.270e+02 6.000e+00 2018 03 02 09 47 33 3.335e+04 3.802e+03 5.850e+02 1.510e+02 8.000e+00 2018 03 02 09 57 33 3.063e+04 3.407e+03 5.240e+02 1.370e+02 7.000e+00 2018 03 02 10 07 33 2.919e+04 3.183e+03 4.280e+02 1.190e+02 4.000e+00 2018 03 02 10 17 34 2.850e+04 3.189e+03 4.920e+02 1.060e+02 6.000e+00 2018 03 02 10 27 34 2.583e+04 2.905e+03 4.430e+02 1.080e+02 8.000e+00 2018 03 02 10 37 34 3.041e+04 2.896e+03 5.170e+02 1.400e+02 9.000e+00 2018 03 02 10 47 34 2.580e+04 2.864e+03 4.540e+02 1.210e+02 8.000e+00 2018 03 02 10 57 34 2.556e+04 2.754e+03 3.950e+02 1.020e+02 7.000e+00 2018 03 02 11 07 34 2.517e+04 2.893e+03 4.790e+02 1.150e+02 1.100e+01 2018 03 02 11 17 34 2.233e+04 2.584e+03 4.310e+02 9.400e+01 4.000e+00 2018 03 02 11 27 34 2.116e+04 2.304e+03 3.310e+02 1.000e+02 3.000e+00 2018 03 02 11 37 34 2.126e+04 2.331e+03 3.540e+02 1.040e+02 9.000e+00 2018 03 02 11 47 34 2.311e+04 2.564e+03 3.560e+02 8.000e+01 4.000e+00 2018 03 02 11 57 35 2.093e+04 2.182e+03 3.010e+02 8.000e+01 7.000e+00 2018 03 02 12 07 35 2.497e+04 2.618e+03 3.910e+02 1.180e+02 7.000e+00 2018 03 02 12 17 35 2.186e+04 2.349e+03 3.620e+02 9.100e+01 8.000e+00 2018 03 02 12 27 35 2.205e+04 2.228e+03 3.100e+02 8.400e+01 2.000e+00 2018 03 02 12 37 35 2.282e+04 2.354e+03 3.100e+02 8.100e+01 9.000e+00 2018 03 02 12 47 35 2.326e+04 2.302e+03 3.130e+02 9.300e+01 7.000e+00 2018 03 02 12 57 35 2.968e+04 3.038e+03 4.260e+02 1.250e+02 7.000e+00 2018 03 02 13 07 35 3.046e+04 3.063e+03 4.370e+02 1.150e+02 8.000e+00 2018 03 02 13 17 35 3.229e+04 3.282e+03 4.460e+02 1.110e+02 1.800e+01 2018 03 02 13 27 35 3.168e+04 3.250e+03 4.330e+02 1.160e+02 2.000e+00 2018 03 02 13 37 36 4.457e+04 4.879e+03 6.780e+02 1.630e+02 1.000e+00 2018 03 02 13 47 36 3.418e+04 3.330e+03 4.150e+02 1.120e+02 5.000e+00 2018 03 02 13 57 36 3.509e+04 3.398e+03 4.010e+02 1.140e+02 1.000e+01 2018 03 02 14 07 36 3.729e+04 3.536e+03 4.490e+02 1.200e+02 6.000e+00 2018 03 02 14 17 36 3.970e+04 3.751e+03 4.750e+02 1.250e+02 8.000e+00 2018 03 02 14 27 36 3.759e+04 3.410e+03 4.270e+02 8.900e+01 6.000e+00 2018 03 02 14 37 36 3.725e+04 3.461e+03 4.220e+02 1.090e+02 6.000e+00 2018 03 02 14 47 36 3.623e+04 3.485e+03 4.010e+02 9.300e+01 2.000e+00 2018 03 02 14 57 36 3.869e+04 3.714e+03 4.500e+02 1.230e+02 8.000e+00 2018 03 02 15 07 36 3.857e+04 3.579e+03 4.330e+02 1.030e+02 5.000e+00 2018 03 02 15 17 37 3.845e+04 3.707e+03 4.630e+02 1.280e+02 7.000e+00 2018 03 02 15 27 37 3.885e+04 3.844e+03 4.780e+02 1.100e+02 6.000e+00 2018 03 02 15 37 37 4.392e+04 4.213e+03 4.980e+02 1.100e+02 5.000e+00 2018 03 02 15 47 37 4.728e+04 4.700e+03 5.710e+02 1.380e+02 2.000e+00 2018 03 02 15 57 37 4.462e+04 4.366e+03 5.450e+02 1.210e+02 7.000e+00 2018 03 02 16 07 37 4.605e+04 4.505e+03 5.910e+02 1.620e+02 1.100e+01 2018 03 02 16 17 37 4.997e+04 5.002e+03 6.640e+02 1.850e+02 1.200e+01 2018 03 02 16 27 37 5.154e+04 5.007e+03 6.880e+02 1.690e+02 6.000e+00 2018 03 02 16 37 37 5.169e+04 5.210e+03 6.760e+02 1.650e+02 6.000e+00 2018 03 02 16 47 37 4.781e+04 4.836e+03 6.180e+02 1.550e+02 9.000e+00 2018 03 02 16 57 38 4.706e+04 4.846e+03 6.240e+02 1.640e+02 8.000e+00 2018 03 02 17 07 38 4.553e+04 4.571e+03 5.980e+02 1.550e+02 4.000e+00 2018 03 02 17 17 38 4.463e+04 4.607e+03 6.220e+02 1.470e+02 1.100e+01 2018 03 02 17 27 38 3.999e+04 4.173e+03 5.550e+02 1.420e+02 9.000e+00 2018 03 02 17 37 38 3.889e+04 3.807e+03 4.780e+02 1.170e+02 6.000e+00 2018 03 02 17 47 38 3.862e+04 3.795e+03 4.950e+02 1.190e+02 8.000e+00 2018 03 02 17 57 38 3.746e+04 3.680e+03 4.400e+02 1.240e+02 3.000e+00 2018 03 02 18 07 38 3.712e+04 3.588e+03 4.750e+02 1.300e+02 6.000e+00 2018 03 02 18 17 38 3.703e+04 3.562e+03 4.610e+02 1.320e+02 1.400e+01 2018 03 02 18 27 38 3.403e+04 3.166e+03 4.220e+02 1.090e+02 1.000e+00 2018 03 02 18 37 39 3.332e+04 3.065e+03 4.000e+02 1.090e+02 4.000e+00 2018 03 02 18 47 39 3.414e+04 3.202e+03 4.130e+02 1.080e+02 3.000e+00 2018 03 02 18 57 39 3.503e+04 3.339e+03 4.060e+02 1.080e+02 5.000e+00 2018 03 02 19 07 39 3.684e+04 3.591e+03 5.140e+02 1.270e+02 4.000e+00 2018 03 02 19 17 39 3.761e+04 3.504e+03 4.280e+02 8.800e+01 1.000e+00 2018 03 02 19 27 39 3.948e+04 3.672e+03 4.840e+02 1.460e+02 7.000e+00 2018 03 02 19 37 39 3.872e+04 3.696e+03 4.730e+02 1.390e+02 7.000e+00 2018 03 02 19 47 39 4.091e+04 3.898e+03 4.750e+02 1.350e+02 6.000e+00 2018 03 02 19 57 39 3.934e+04 3.651e+03 4.600e+02 1.160e+02 6.000e+00 2018 03 02 20 07 39 3.917e+04 3.525e+03 4.260e+02 1.110e+02 6.000e+00 2018 03 02 20 17 40 3.837e+04 3.384e+03 4.110e+02 1.150e+02 5.000e+00 2018 03 02 20 27 40 3.917e+04 3.596e+03 4.610e+02 1.200e+02 4.000e+00 2018 03 02 20 37 40 4.092e+04 3.746e+03 4.710e+02 1.420e+02 8.000e+00 2018 03 02 20 47 40 4.176e+04 3.985e+03 5.000e+02 1.320e+02 1.200e+01 2018 03 02 20 57 40 4.253e+04 3.986e+03 5.070e+02 1.460e+02 5.000e+00 2018 03 02 21 07 40 4.393e+04 4.143e+03 5.360e+02 1.550e+02 1.100e+01 2018 03 02 21 17 40 4.488e+04 4.284e+03 5.920e+02 1.780e+02 1.200e+01 2018 03 02 21 27 40 4.430e+04 4.165e+03 5.560e+02 1.630e+02 1.600e+01 2018 03 02 21 37 40 4.336e+04 3.990e+03 5.290e+02 1.300e+02 2.000e+00 2018 03 02 21 47 40 4.208e+04 3.950e+03 5.020e+02 1.220e+02 8.000e+00 2018 03 02 21 57 41 4.265e+04 3.920e+03 4.640e+02 1.190e+02 7.000e+00 2018 03 02 22 07 41 4.498e+04 4.103e+03 5.050e+02 1.260e+02 4.000e+00 2018 03 02 22 17 41 4.571e+04 4.126e+03 4.800e+02 1.420e+02 7.000e+00 2018 03 02 22 27 41 4.470e+04 4.201e+03 4.980e+02 1.350e+02 1.100e+01 2018 03 02 22 37 41 4.247e+04 3.859e+03 4.740e+02 1.250e+02 8.000e+00 2018 03 02 22 47 41 4.165e+04 3.709e+03 4.730e+02 1.180e+02 1.100e+01 2018 03 02 22 57 41 4.264e+04 3.881e+03 4.860e+02 1.210e+02 7.000e+00 2018 03 02 23 07 41 4.352e+04 3.993e+03 4.980e+02 1.260e+02 6.000e+00 2018 03 02 23 17 41 4.585e+04 4.258e+03 5.270e+02 1.410e+02 7.000e+00 2018 03 02 23 27 41 4.657e+04 4.322e+03 4.510e+02 1.110e+02 7.000e+00 2018 03 02 23 37 42 4.752e+04 4.568e+03 5.480e+02 1.310e+02 8.000e+00 2018 03 02 23 47 42 5.242e+04 4.945e+03 5.600e+02 1.480e+02 1.400e+01 2018 03 02 23 57 42 5.626e+04 5.323e+03 6.020e+02 1.440e+02 6.000e+00