# yy mm dd HH MM SS 0.3um 0.5um 1um 2um 5um 2018 02 05 00 01 05 3.195e+04 2.589e+03 3.210e+02 7.500e+01 4.000e+00 2018 02 05 00 11 05 2.606e+04 2.162e+03 2.860e+02 6.400e+01 2.000e+00 2018 02 05 00 21 05 2.086e+04 1.947e+03 2.560e+02 5.500e+01 1.000e+00 2018 02 05 00 31 05 1.713e+04 1.808e+03 2.390e+02 5.800e+01 3.000e+00 2018 02 05 00 41 05 1.374e+04 1.470e+03 2.020e+02 5.700e+01 9.000e+00 2018 02 05 00 51 05 1.132e+04 1.243e+03 1.680e+02 5.200e+01 9.000e+00 2018 02 05 01 01 10 9.849e+03 9.620e+02 1.240e+02 3.900e+01 6.000e+00 2018 02 05 01 11 10 9.903e+03 9.620e+02 1.450e+02 4.000e+01 2.000e+00 2018 02 05 01 21 10 9.161e+03 8.700e+02 1.290e+02 3.400e+01 1.000e+00 2018 02 05 01 31 10 8.917e+03 9.360e+02 1.140e+02 3.500e+01 4.000e+00 2018 02 05 01 41 10 8.561e+03 8.430e+02 1.220e+02 3.400e+01 2.000e+00 2018 02 05 01 51 10 8.862e+03 8.610e+02 1.140e+02 2.800e+01 1.000e+00 2018 02 05 02 01 10 1.003e+04 9.130e+02 1.140e+02 3.100e+01 1.000e+00 2018 02 05 02 11 10 1.062e+04 1.075e+03 1.500e+02 3.900e+01 4.000e+00 2018 02 05 02 21 10 1.118e+04 1.271e+03 1.740e+02 3.900e+01 3.000e+00 2018 02 05 02 31 11 1.114e+04 1.191e+03 1.530e+02 2.700e+01 2.000e+00 2018 02 05 02 41 11 1.137e+04 1.103e+03 1.520e+02 3.400e+01 0.000e+00 2018 02 05 02 51 11 1.184e+04 1.235e+03 1.670e+02 4.300e+01 2.000e+00 2018 02 05 03 01 11 1.170e+04 1.128e+03 1.780e+02 4.000e+01 1.000e+00 2018 02 05 03 11 11 1.179e+04 1.119e+03 1.330e+02 2.600e+01 1.000e+00 2018 02 05 03 21 11 1.210e+04 1.136e+03 1.290e+02 2.600e+01 0.000e+00 2018 02 05 03 31 11 1.231e+04 1.172e+03 1.610e+02 4.500e+01 2.000e+00 2018 02 05 03 41 11 1.314e+04 1.244e+03 1.790e+02 4.500e+01 2.000e+00 2018 02 05 03 51 11 1.653e+04 1.817e+03 2.420e+02 4.400e+01 1.000e+00 2018 02 05 04 01 11 1.476e+04 1.384e+03 1.670e+02 5.000e+01 0.000e+00 2018 02 05 04 11 12 1.448e+04 1.345e+03 1.940e+02 4.200e+01 1.000e+00 2018 02 05 04 21 12 1.483e+04 1.364e+03 1.880e+02 3.600e+01 2.000e+00 2018 02 05 04 31 12 1.547e+04 1.412e+03 1.940e+02 5.900e+01 5.000e+00 2018 02 05 04 41 12 1.579e+04 1.339e+03 1.840e+02 3.400e+01 0.000e+00 2018 02 05 04 51 12 1.552e+04 1.272e+03 1.660e+02 4.000e+01 0.000e+00 2018 02 05 05 01 12 1.524e+04 1.320e+03 1.660e+02 3.000e+01 1.000e+00 2018 02 05 05 11 12 1.515e+04 1.326e+03 1.830e+02 3.900e+01 3.000e+00 2018 02 05 05 21 12 1.557e+04 1.395e+03 1.630e+02 4.200e+01 0.000e+00 2018 02 05 05 31 12 1.612e+04 1.420e+03 1.770e+02 3.800e+01 2.000e+00 2018 02 05 05 41 12 1.620e+04 1.444e+03 1.780e+02 3.900e+01 2.000e+00 2018 02 05 05 51 13 1.689e+04 1.500e+03 1.860e+02 4.100e+01 1.000e+00 2018 02 05 06 01 13 1.726e+04 1.541e+03 1.800e+02 4.200e+01 3.000e+00 2018 02 05 06 11 13 1.802e+04 1.619e+03 2.010e+02 4.300e+01 3.000e+00 2018 02 05 06 21 13 1.857e+04 1.613e+03 2.010e+02 5.400e+01 3.000e+00 2018 02 05 06 31 13 1.932e+04 1.666e+03 2.080e+02 5.400e+01 1.000e+00 2018 02 05 06 41 13 2.001e+04 1.746e+03 2.370e+02 4.900e+01 1.000e+00 2018 02 05 06 51 13 2.137e+04 1.899e+03 2.610e+02 6.400e+01 2.000e+00 2018 02 05 07 01 13 2.256e+04 1.875e+03 2.400e+02 4.800e+01 4.000e+00 2018 02 05 07 11 13 2.434e+04 2.027e+03 2.560e+02 5.300e+01 3.000e+00 2018 02 05 07 21 13 3.138e+04 2.797e+03 3.650e+02 9.700e+01 0.000e+00 2018 02 05 07 31 14 3.632e+04 3.295e+03 5.070e+02 1.300e+02 5.000e+00 2018 02 05 07 41 14 3.533e+04 2.955e+03 4.000e+02 9.200e+01 4.000e+00 2018 02 05 07 51 14 3.797e+04 3.108e+03 4.230e+02 1.240e+02 5.000e+00 2018 02 05 08 01 14 3.955e+04 3.360e+03 4.660e+02 1.100e+02 7.000e+00 2018 02 05 08 11 14 3.565e+04 2.857e+03 3.510e+02 8.200e+01 3.000e+00 2018 02 05 08 21 14 3.802e+04 2.888e+03 3.630e+02 9.600e+01 5.000e+00 2018 02 05 08 31 14 3.543e+04 2.767e+03 3.210e+02 7.300e+01 6.000e+00 2018 02 05 08 41 14 3.453e+04 2.702e+03 3.100e+02 7.400e+01 8.000e+00 2018 02 05 08 51 14 4.028e+04 3.368e+03 3.850e+02 9.000e+01 4.000e+00 2018 02 05 09 01 14 3.963e+04 3.317e+03 3.750e+02 7.900e+01 2.000e+00 2018 02 05 09 11 15 4.464e+04 3.840e+03 4.980e+02 9.600e+01 4.000e+00 2018 02 05 09 21 15 4.233e+04 3.657e+03 4.670e+02 1.080e+02 5.000e+00 2018 02 05 09 31 15 4.218e+04 3.484e+03 4.070e+02 9.700e+01 8.000e+00 2018 02 05 09 41 15 4.647e+04 3.872e+03 5.000e+02 1.200e+02 4.000e+00 2018 02 05 09 51 15 3.975e+04 3.549e+03 4.330e+02 1.070e+02 7.000e+00 2018 02 05 10 01 15 3.920e+04 3.337e+03 4.040e+02 7.700e+01 3.000e+00 2018 02 05 10 11 15 4.373e+04 3.713e+03 4.200e+02 8.500e+01 2.000e+00 2018 02 05 10 21 15 4.604e+04 3.957e+03 4.280e+02 9.900e+01 3.000e+00 2018 02 05 10 31 15 4.578e+04 3.983e+03 4.170e+02 9.400e+01 5.000e+00 2018 02 05 10 41 15 4.819e+04 4.138e+03 4.360e+02 9.700e+01 2.000e+00 2018 02 05 10 51 16 5.132e+04 4.500e+03 4.760e+02 1.010e+02 3.000e+00 2018 02 05 11 01 16 4.912e+04 4.336e+03 4.300e+02 9.700e+01 6.000e+00 2018 02 05 11 11 16 5.988e+04 5.288e+03 5.980e+02 1.350e+02 7.000e+00 2018 02 05 11 21 16 4.439e+04 4.072e+03 4.440e+02 9.900e+01 3.000e+00 2018 02 05 11 31 16 5.745e+04 5.102e+03 5.750e+02 1.270e+02 5.000e+00 2018 02 05 11 41 16 5.482e+04 4.935e+03 5.300e+02 1.170e+02 5.000e+00 2018 02 05 11 51 16 4.919e+04 4.468e+03 5.050e+02 9.300e+01 2.000e+00 2018 02 05 12 01 16 5.155e+04 4.474e+03 4.790e+02 1.090e+02 6.000e+00 2018 02 05 12 11 16 5.126e+04 4.431e+03 4.650e+02 1.180e+02 6.000e+00 2018 02 05 12 21 17 6.745e+04 6.347e+03 8.640e+02 2.150e+02 1.400e+01 2018 02 05 12 31 17 6.845e+04 6.607e+03 1.032e+03 2.400e+02 9.000e+00 2018 02 05 12 41 17 6.281e+04 6.159e+03 8.750e+02 2.040e+02 1.100e+01 2018 02 05 12 51 17 5.757e+04 5.401e+03 7.140e+02 1.630e+02 7.000e+00 2018 02 05 13 01 17 5.403e+04 4.894e+03 6.260e+02 1.540e+02 8.000e+00 2018 02 05 13 11 17 4.292e+04 3.764e+03 4.570e+02 9.600e+01 0.000e+00 2018 02 05 13 21 17 4.006e+04 3.429e+03 4.540e+02 1.070e+02 8.000e+00 2018 02 05 13 31 17 4.388e+04 3.785e+03 4.900e+02 1.240e+02 9.000e+00 2018 02 05 13 41 17 4.915e+04 4.291e+03 5.490e+02 1.170e+02 9.000e+00 2018 02 05 13 51 17 5.209e+04 4.355e+03 5.890e+02 1.300e+02 5.000e+00 2018 02 05 14 01 18 4.532e+04 3.836e+03 4.870e+02 1.220e+02 1.000e+00 2018 02 05 14 11 18 4.302e+04 3.419e+03 4.080e+02 8.800e+01 5.000e+00 2018 02 05 14 21 18 4.702e+04 3.806e+03 5.240e+02 1.320e+02 9.000e+00 2018 02 05 14 31 18 4.352e+04 3.577e+03 4.630e+02 1.210e+02 7.000e+00 2018 02 05 14 41 18 4.202e+04 3.779e+03 4.280e+02 9.200e+01 2.000e+00 2018 02 05 14 51 18 4.399e+04 4.233e+03 4.860e+02 1.060e+02 4.000e+00 2018 02 05 15 01 18 4.619e+04 4.418e+03 5.000e+02 1.220e+02 4.000e+00 2018 02 05 15 11 18 3.919e+04 3.899e+03 4.570e+02 9.500e+01 5.000e+00 2018 02 05 15 21 18 4.654e+04 4.517e+03 6.120e+02 1.690e+02 6.000e+00 2018 02 05 15 31 18 4.273e+04 4.246e+03 5.260e+02 1.010e+02 3.000e+00 2018 02 05 15 41 19 5.364e+04 7.065e+03 8.640e+02 1.500e+02 2.000e+00 2018 02 05 15 51 19 6.026e+04 7.731e+03 9.950e+02 1.730e+02 1.000e+00 2018 02 05 16 01 19 5.297e+04 5.272e+03 6.210e+02 1.180e+02 4.000e+00 2018 02 05 16 11 19 5.533e+04 5.839e+03 6.690e+02 1.240e+02 2.000e+00 2018 02 05 16 21 19 4.932e+04 4.428e+03 4.930e+02 1.380e+02 2.000e+00 2018 02 05 16 31 19 4.790e+04 4.338e+03 5.130e+02 1.250e+02 5.000e+00 2018 02 05 16 41 19 4.151e+04 3.823e+03 4.670e+02 1.200e+02 2.000e+00 2018 02 05 16 51 19 4.267e+04 3.877e+03 4.970e+02 1.240e+02 1.000e+00 2018 02 05 17 01 19 3.934e+04 3.504e+03 4.560e+02 1.170e+02 4.000e+00 2018 02 05 17 11 19 3.861e+04 3.715e+03 4.760e+02 1.180e+02 4.000e+00 2018 02 05 17 21 20 3.868e+04 3.759e+03 5.090e+02 1.210e+02 1.000e+00 2018 02 05 17 31 20 4.056e+04 3.627e+03 4.660e+02 1.230e+02 3.000e+00 2018 02 05 17 41 20 4.395e+04 3.941e+03 5.160e+02 1.250e+02 9.000e+00 2018 02 05 17 51 20 4.556e+04 4.077e+03 5.380e+02 1.160e+02 4.000e+00 2018 02 05 18 01 20 4.316e+04 4.113e+03 5.220e+02 1.270e+02 4.000e+00 2018 02 05 18 11 20 4.002e+04 4.059e+03 6.100e+02 1.740e+02 4.000e+00 2018 02 05 18 21 20 3.451e+04 4.944e+03 9.940e+02 2.320e+02 4.000e+00 2018 02 05 18 31 20 2.762e+04 3.099e+03 4.830e+02 1.450e+02 9.000e+00 2018 02 05 18 41 20 3.043e+04 3.605e+03 6.610e+02 1.980e+02 4.000e+00 2018 02 05 18 51 20 2.864e+04 3.413e+03 6.420e+02 2.140e+02 8.000e+00 2018 02 05 19 01 21 2.870e+04 3.038e+03 5.390e+02 1.860e+02 6.000e+00 2018 02 05 19 11 21 3.625e+04 4.133e+03 6.860e+02 1.880e+02 4.000e+00 2018 02 05 19 21 21 3.870e+04 4.202e+03 7.190e+02 1.900e+02 9.000e+00 2018 02 05 19 31 21 3.836e+04 4.080e+03 6.490e+02 1.610e+02 4.000e+00 2018 02 05 19 41 21 4.060e+04 4.272e+03 6.610e+02 1.710e+02 8.000e+00 2018 02 05 19 51 21 3.985e+04 3.856e+03 5.450e+02 1.660e+02 7.000e+00 2018 02 05 20 01 21 4.155e+04 3.776e+03 5.650e+02 1.620e+02 1.000e+01 2018 02 05 20 11 21 4.892e+04 4.185e+03 5.750e+02 1.490e+02 5.000e+00 2018 02 05 20 21 21 5.447e+04 4.547e+03 6.170e+02 1.790e+02 1.000e+01 2018 02 05 20 31 21 5.951e+04 4.903e+03 6.330e+02 1.790e+02 7.000e+00 2018 02 05 20 41 22 6.266e+04 4.932e+03 6.920e+02 2.030e+02 2.000e+00 2018 02 05 20 51 22 7.016e+04 5.574e+03 8.220e+02 2.410e+02 1.300e+01 2018 02 05 21 01 22 7.695e+04 5.916e+03 8.480e+02 2.480e+02 1.300e+01 2018 02 05 21 11 22 8.509e+04 6.782e+03 9.270e+02 2.500e+02 1.200e+01 2018 02 05 21 21 22 9.774e+04 7.984e+03 1.079e+03 2.990e+02 1.600e+01 2018 02 05 21 31 22 1.035e+05 8.700e+03 1.170e+03 3.240e+02 1.600e+01 2018 02 05 21 41 22 9.608e+04 8.618e+03 1.168e+03 3.290e+02 1.900e+01 2018 02 05 21 51 22 8.962e+04 7.724e+03 1.020e+03 2.640e+02 1.600e+01 2018 02 05 22 01 22 8.844e+04 6.880e+03 8.390e+02 2.260e+02 8.000e+00 2018 02 05 22 11 23 8.467e+04 6.340e+03 7.310e+02 1.730e+02 5.000e+00 2018 02 05 22 21 23 8.687e+04 6.202e+03 6.750e+02 1.790e+02 4.000e+00 2018 02 05 22 31 23 8.890e+04 6.351e+03 7.030e+02 1.600e+02 7.000e+00 2018 02 05 22 41 23 9.697e+04 6.951e+03 7.500e+02 1.740e+02 7.000e+00 2018 02 05 22 51 23 9.873e+04 7.144e+03 7.830e+02 2.020e+02 1.000e+01 2018 02 05 23 01 23 9.947e+04 7.269e+03 7.800e+02 2.000e+02 7.000e+00 2018 02 05 23 11 23 9.897e+04 7.215e+03 8.190e+02 2.100e+02 1.100e+01 2018 02 05 23 21 23 1.015e+05 7.179e+03 7.640e+02 1.760e+02 3.000e+00 2018 02 05 23 31 23 1.034e+05 7.684e+03 7.940e+02 2.080e+02 8.000e+00 2018 02 05 23 41 23 1.065e+05 7.947e+03 8.310e+02 1.970e+02 9.000e+00 2018 02 05 23 51 24 1.098e+05 8.094e+03 8.570e+02 2.060e+02 8.000e+00