# yy mm dd HH MM SS 0.3um 0.5um 1um 2um 5um 2017 05 15 00 02 20 1.762e+04 2.019e+03 5.220e+02 1.090e+02 0.000e+00 2017 05 15 00 12 20 1.981e+04 1.941e+03 4.560e+02 8.200e+01 1.000e+00 2017 05 15 00 22 20 2.114e+04 2.134e+03 5.430e+02 1.200e+02 0.000e+00 2017 05 15 00 32 20 2.020e+04 2.093e+03 5.390e+02 1.250e+02 0.000e+00 2017 05 15 00 42 20 2.179e+04 2.155e+03 5.640e+02 1.110e+02 0.000e+00 2017 05 15 00 52 20 2.522e+04 2.364e+03 5.670e+02 1.350e+02 0.000e+00 2017 05 15 01 02 26 2.288e+04 2.234e+03 5.710e+02 1.130e+02 1.000e+00 2017 05 15 01 12 27 2.412e+04 2.258e+03 5.750e+02 1.200e+02 1.000e+00 2017 05 15 01 22 27 2.732e+04 2.403e+03 6.290e+02 1.460e+02 1.000e+00 2017 05 15 01 32 27 2.718e+04 2.213e+03 5.080e+02 9.500e+01 0.000e+00 2017 05 15 01 42 27 2.755e+04 2.143e+03 4.950e+02 9.900e+01 1.000e+00 2017 05 15 01 52 27 3.094e+04 2.342e+03 6.060e+02 1.380e+02 0.000e+00 2017 05 15 02 02 27 3.332e+04 2.367e+03 5.880e+02 1.230e+02 0.000e+00 2017 05 15 02 12 27 3.533e+04 2.299e+03 5.640e+02 1.260e+02 0.000e+00 2017 05 15 02 22 27 3.684e+04 2.410e+03 5.940e+02 1.370e+02 0.000e+00 2017 05 15 02 32 27 3.365e+04 2.163e+03 5.790e+02 1.440e+02 0.000e+00 2017 05 15 02 42 27 3.256e+04 2.236e+03 5.430e+02 1.210e+02 0.000e+00 2017 05 15 02 52 28 2.984e+04 2.200e+03 5.310e+02 1.150e+02 0.000e+00 2017 05 15 03 02 28 2.903e+04 2.169e+03 5.890e+02 1.260e+02 1.000e+00 2017 05 15 03 12 28 3.007e+04 2.141e+03 5.690e+02 1.410e+02 1.000e+00 2017 05 15 03 22 28 3.214e+04 2.177e+03 5.670e+02 1.340e+02 0.000e+00 2017 05 15 03 32 28 3.402e+04 2.210e+03 5.900e+02 1.510e+02 0.000e+00 2017 05 15 03 42 28 3.401e+04 2.257e+03 6.240e+02 1.680e+02 1.000e+00 2017 05 15 03 52 28 3.488e+04 2.353e+03 6.210e+02 1.370e+02 0.000e+00 2017 05 15 04 02 28 3.385e+04 2.304e+03 5.480e+02 1.330e+02 3.000e+00 2017 05 15 04 12 28 3.257e+04 2.218e+03 5.800e+02 1.140e+02 1.000e+00 2017 05 15 04 22 28 2.930e+04 1.966e+03 4.930e+02 1.170e+02 0.000e+00 2017 05 15 04 32 29 3.207e+04 2.243e+03 5.360e+02 1.000e+02 1.000e+00 2017 05 15 04 42 29 3.195e+04 2.152e+03 5.470e+02 1.170e+02 1.000e+00 2017 05 15 04 52 29 3.482e+04 2.253e+03 5.240e+02 1.170e+02 0.000e+00 2017 05 15 05 02 29 3.602e+04 2.161e+03 4.740e+02 9.900e+01 0.000e+00 2017 05 15 05 12 29 4.132e+04 2.486e+03 5.520e+02 1.130e+02 0.000e+00 2017 05 15 05 22 29 3.730e+04 2.237e+03 4.940e+02 1.170e+02 1.000e+00 2017 05 15 05 32 29 3.627e+04 2.254e+03 5.360e+02 1.140e+02 0.000e+00 2017 05 15 05 42 29 3.802e+04 2.282e+03 5.570e+02 1.420e+02 1.000e+00 2017 05 15 05 52 29 4.119e+04 2.424e+03 5.640e+02 1.090e+02 0.000e+00 2017 05 15 06 02 29 4.719e+04 2.556e+03 5.610e+02 1.190e+02 0.000e+00 2017 05 15 06 12 30 4.552e+04 2.399e+03 5.790e+02 1.340e+02 1.000e+00 2017 05 15 06 22 30 4.264e+04 2.256e+03 4.630e+02 9.500e+01 1.000e+00 2017 05 15 06 32 30 3.629e+04 2.146e+03 4.990e+02 1.130e+02 1.000e+00 2017 05 15 06 42 30 3.432e+04 1.894e+03 4.180e+02 8.400e+01 1.000e+00 2017 05 15 06 52 30 3.772e+04 1.987e+03 3.900e+02 6.700e+01 0.000e+00 2017 05 15 07 02 30 3.292e+04 1.734e+03 3.560e+02 6.500e+01 0.000e+00 2017 05 15 07 12 30 4.069e+04 2.013e+03 3.380e+02 5.600e+01 2.000e+00 2017 05 15 07 22 30 4.601e+04 2.160e+03 3.880e+02 8.400e+01 3.000e+00 2017 05 15 07 32 30 4.436e+04 2.250e+03 3.950e+02 7.900e+01 0.000e+00 2017 05 15 07 42 30 5.147e+04 2.501e+03 4.250e+02 9.600e+01 0.000e+00 2017 05 15 07 52 31 5.784e+04 4.762e+03 3.980e+02 8.200e+01 0.000e+00 2017 05 15 08 02 31 7.895e+04 6.627e+03 4.530e+02 9.900e+01 2.000e+00 2017 05 15 08 12 31 6.817e+04 5.236e+03 4.800e+02 9.500e+01 0.000e+00 2017 05 15 08 22 31 5.782e+04 4.585e+03 4.640e+02 9.000e+01 0.000e+00 2017 05 15 08 32 31 6.242e+04 4.982e+03 4.020e+02 9.200e+01 0.000e+00 2017 05 15 08 42 31 6.700e+04 5.746e+03 3.350e+02 7.400e+01 1.000e+00 2017 05 15 08 52 31 7.302e+04 6.103e+03 4.850e+02 1.020e+02 0.000e+00 2017 05 15 09 02 31 7.450e+04 5.178e+03 3.900e+02 8.700e+01 0.000e+00 2017 05 15 09 12 31 1.050e+05 1.149e+04 6.900e+02 8.900e+01 0.000e+00 2017 05 15 09 22 31 8.739e+04 7.285e+03 5.520e+02 1.040e+02 2.000e+00 2017 05 15 09 32 32 8.450e+04 7.047e+03 4.840e+02 1.010e+02 0.000e+00 2017 05 15 09 42 32 9.215e+04 8.253e+03 5.640e+02 8.300e+01 2.000e+00 2017 05 15 09 52 32 9.388e+04 8.385e+03 5.960e+02 1.040e+02 1.000e+00 2017 05 15 10 02 32 9.498e+04 8.536e+03 5.440e+02 8.500e+01 2.000e+00 2017 05 15 10 12 32 9.421e+04 8.361e+03 4.920e+02 8.300e+01 0.000e+00 2017 05 15 10 22 32 1.064e+05 9.180e+03 5.260e+02 7.800e+01 0.000e+00 2017 05 15 10 32 32 1.449e+05 1.197e+04 7.150e+02 1.370e+02 1.000e+00 2017 05 15 10 42 32 1.538e+05 1.266e+04 6.970e+02 1.280e+02 3.000e+00 2017 05 15 10 52 32 1.436e+05 1.221e+04 6.680e+02 1.190e+02 8.000e+00 2017 05 15 11 02 32 1.509e+05 1.356e+04 6.820e+02 1.120e+02 4.000e+00 2017 05 15 11 12 33 1.529e+05 1.412e+04 7.520e+02 1.330e+02 5.000e+00 2017 05 15 11 22 33 1.749e+05 1.692e+04 9.550e+02 1.660e+02 3.000e+00 2017 05 15 11 32 33 2.267e+05 2.297e+04 1.742e+03 3.130e+02 5.000e+00 2017 05 15 11 42 33 2.563e+05 2.953e+04 2.218e+03 4.090e+02 8.000e+00 2017 05 15 11 52 33 2.718e+05 2.846e+04 2.106e+03 4.280e+02 1.200e+01 2017 05 15 12 02 33 3.017e+05 3.222e+04 2.220e+03 4.030e+02 3.000e+00 2017 05 15 12 12 33 2.652e+05 3.485e+04 2.546e+03 4.630e+02 1.100e+01 2017 05 15 12 22 33 2.291e+05 2.866e+04 2.023e+03 3.510e+02 4.000e+00 2017 05 15 12 32 33 1.661e+05 1.725e+04 1.481e+03 3.100e+02 4.000e+00 2017 05 15 12 42 33 1.497e+05 1.326e+04 8.680e+02 1.680e+02 7.000e+00 2017 05 15 12 52 34 1.587e+05 1.706e+04 1.367e+03 2.660e+02 5.000e+00 2017 05 15 13 02 34 1.810e+05 2.012e+04 1.333e+03 2.690e+02 2.000e+00 2017 05 15 13 12 34 2.074e+05 2.612e+04 1.917e+03 3.620e+02 4.000e+00 2017 05 15 13 22 34 1.818e+05 2.324e+04 1.607e+03 3.210e+02 8.000e+00 2017 05 15 13 32 34 1.867e+05 2.252e+04 1.718e+03 3.570e+02 9.000e+00 2017 05 15 13 42 34 1.872e+05 2.165e+04 1.109e+03 2.400e+02 6.000e+00 2017 05 15 13 52 34 2.070e+05 2.556e+04 9.610e+02 1.850e+02 7.000e+00 2017 05 15 14 02 34 2.615e+05 3.468e+04 1.114e+03 1.990e+02 6.000e+00 2017 05 15 14 12 34 1.602e+05 1.542e+04 1.088e+03 2.380e+02 4.000e+00 2017 05 15 14 22 34 1.389e+05 1.082e+04 1.194e+03 2.740e+02 7.000e+00 2017 05 15 14 32 35 1.148e+05 7.979e+03 1.119e+03 2.450e+02 3.000e+00 2017 05 15 14 42 35 1.191e+05 8.732e+03 1.025e+03 2.460e+02 7.000e+00 2017 05 15 14 52 35 1.157e+05 6.147e+03 7.060e+02 1.940e+02 4.000e+00 2017 05 15 15 02 35 1.194e+05 5.768e+03 8.120e+02 2.510e+02 1.000e+00 2017 05 15 15 12 35 1.374e+05 7.071e+03 8.700e+02 2.580e+02 3.000e+00 2017 05 15 15 22 35 1.366e+05 7.378e+03 9.900e+02 2.860e+02 1.100e+01 2017 05 15 15 32 35 1.285e+05 6.405e+03 8.510e+02 2.580e+02 5.000e+00 2017 05 15 15 42 35 1.436e+05 7.136e+03 8.550e+02 2.290e+02 3.000e+00 2017 05 15 15 52 35 1.425e+05 6.619e+03 7.720e+02 2.400e+02 6.000e+00 2017 05 15 16 02 35 1.377e+05 6.928e+03 8.700e+02 2.270e+02 8.000e+00 2017 05 15 16 12 36 1.307e+05 7.013e+03 8.500e+02 2.280e+02 1.000e+00 2017 05 15 16 22 36 1.211e+05 6.618e+03 8.580e+02 2.470e+02 6.000e+00 2017 05 15 16 32 36 1.225e+05 6.816e+03 8.670e+02 2.410e+02 4.000e+00 2017 05 15 16 42 36 1.181e+05 6.498e+03 6.800e+02 1.940e+02 2.000e+00 2017 05 15 16 52 36 1.177e+05 6.956e+03 7.650e+02 2.050e+02 3.000e+00 2017 05 15 17 02 36 1.178e+05 6.956e+03 8.370e+02 2.500e+02 3.000e+00 2017 05 15 17 12 36 1.193e+05 7.073e+03 8.570e+02 2.490e+02 3.000e+00 2017 05 15 17 22 36 1.186e+05 6.792e+03 8.050e+02 2.430e+02 1.000e+00 2017 05 15 17 32 36 1.201e+05 7.056e+03 8.500e+02 2.780e+02 3.000e+00 2017 05 15 17 42 36 1.101e+05 8.319e+03 7.070e+02 1.820e+02 3.000e+00 2017 05 15 17 52 37 1.144e+05 8.348e+03 7.370e+02 1.810e+02 1.000e+00 2017 05 15 18 02 37 1.170e+05 8.454e+03 7.810e+02 2.250e+02 4.000e+00 2017 05 15 18 12 37 1.361e+05 1.192e+04 8.980e+02 2.020e+02 6.000e+00 2017 05 15 18 22 37 1.224e+05 9.393e+03 7.970e+02 1.990e+02 3.000e+00 2017 05 15 18 32 37 1.076e+05 7.611e+03 6.490e+02 1.630e+02 4.000e+00 2017 05 15 18 42 37 1.045e+05 7.253e+03 6.300e+02 1.690e+02 1.000e+00 2017 05 15 18 52 37 1.066e+05 7.421e+03 6.320e+02 1.470e+02 0.000e+00 2017 05 15 19 02 37 1.080e+05 7.430e+03 6.640e+02 1.940e+02 2.000e+00 2017 05 15 19 12 37 1.075e+05 7.428e+03 6.320e+02 1.630e+02 7.000e+00 2017 05 15 19 22 37 1.127e+05 7.950e+03 6.930e+02 1.810e+02 2.000e+00 2017 05 15 19 32 38 1.157e+05 8.396e+03 7.830e+02 2.020e+02 5.000e+00 2017 05 15 19 42 38 1.242e+05 9.445e+03 8.390e+02 2.540e+02 2.000e+00 2017 05 15 19 52 38 1.326e+05 1.023e+04 8.580e+02 2.290e+02 2.000e+00 2017 05 15 20 02 38 1.351e+05 1.075e+04 9.440e+02 2.350e+02 1.000e+00 2017 05 15 20 12 38 1.395e+05 1.132e+04 9.440e+02 2.240e+02 4.000e+00 2017 05 15 20 22 38 1.444e+05 1.127e+04 9.310e+02 2.450e+02 3.000e+00 2017 05 15 20 32 38 1.368e+05 1.038e+04 8.850e+02 2.550e+02 3.000e+00 2017 05 15 20 42 38 1.428e+05 1.105e+04 9.670e+02 2.510e+02 3.000e+00 2017 05 15 20 52 38 1.481e+05 1.140e+04 9.280e+02 2.550e+02 5.000e+00 2017 05 15 21 02 38 1.537e+05 1.165e+04 9.420e+02 2.560e+02 6.000e+00 2017 05 15 21 12 39 1.604e+05 1.300e+04 1.021e+03 2.850e+02 3.000e+00 2017 05 15 21 22 39 1.608e+05 1.257e+04 1.069e+03 2.680e+02 3.000e+00 2017 05 15 21 32 39 1.596e+05 1.219e+04 1.094e+03 2.870e+02 4.000e+00 2017 05 15 21 42 39 1.435e+05 9.255e+03 9.400e+02 2.660e+02 2.000e+00 2017 05 15 21 52 39 1.251e+05 6.828e+03 8.100e+02 2.190e+02 0.000e+00 2017 05 15 22 02 39 1.199e+05 5.930e+03 7.490e+02 2.240e+02 1.000e+00 2017 05 15 22 12 39 1.123e+05 5.147e+03 7.350e+02 2.080e+02 2.000e+00 2017 05 15 22 22 39 1.111e+05 4.893e+03 7.520e+02 2.150e+02 2.000e+00 2017 05 15 22 32 39 1.123e+05 4.977e+03 7.980e+02 2.350e+02 2.000e+00 2017 05 15 22 42 39 1.178e+05 4.962e+03 7.790e+02 1.990e+02 1.000e+00 2017 05 15 22 52 40 1.211e+05 5.344e+03 8.110e+02 2.160e+02 0.000e+00 2017 05 15 23 02 40 1.266e+05 5.486e+03 8.320e+02 2.360e+02 2.000e+00 2017 05 15 23 12 40 1.348e+05 5.838e+03 8.900e+02 2.090e+02 2.000e+00 2017 05 15 23 22 40 1.426e+05 6.995e+03 8.800e+02 2.510e+02 3.000e+00 2017 05 15 23 32 40 1.452e+05 7.471e+03 9.770e+02 2.600e+02 2.000e+00 2017 05 15 23 42 40 1.454e+05 7.371e+03 9.630e+02 2.320e+02 4.000e+00 2017 05 15 23 52 40 1.733e+05 1.281e+04 1.015e+03 2.290e+02 2.000e+00